Hem ICP-MS hem de ICP-OES'de, çözelti içindeki numune ince bir sprey olarak bir plazmaya verilir. Yüksek sıcaklıktaki plazma, yüksek yoğunluklu bir radyo frekansı enerji alanı tarafından, tipik olarak argon olan bir soy gaz akışında üretilir. Damlacıklar buharlaştırılır ve kurucu atomlara/iyonlara dönüştürülür. Bunlar, ICP-OES'de ölçülen karakteristik dalga boylarında ışık yayar. Alternatif olarak, ICP-MS'de iyonlar bir kütle spektrometresine ekstrakte edilebilir ve yük oranları ve bollukları ölçülebilir.