Açıktır ki, belirlenmekte olan bir elementi içeren bir safsızlığın varlığı, elemental analiz sonuçlarının doğruluğunu doğrudan etkileyecektir. Örtüşen spektral emisyonlara veya izotopik kütlelere sahip diğer elementler / bileşikler de sırasıyla ICP-OES ve ICP-MS analizlerine müdahale edecektir. Daha az çözünür türlerin daha yüksek konsantrasyonları, bu teknikler ve AAS için sprey özelliklerinde bozulmaya yol açabilir ve HPLC'de kolon ve detektör performansını düşürebilir. Safsızlık iyonları ayrıca iyonlaşmayı etkileyebilir ve ICP-MS ve LC-MS'de çok atomlu iyonlar oluşturabilir.